Thermisches Spritzen in silandotierten Schutz- gasen: Ein neuer Ansatz für innovative Beschichtungen in kontrollierten Prozessatmosphären

Neben den eigentlichen Funktionseigenschaften stellen die Haftfestigkeiten zwischen der Schicht und dem Substrat eines der entscheidenden Qualitätsmerkmale einer thermisch gespritzten Schicht dar. Da das kon-ventionelle thermische Spritzen nahezu ausschließlich in Luftatmosphäre durchgeführt wird, führt dies zu ener Oxidation der Ober- und Grenzflächen der Beschichtungsstelle, sodass keine stoffschlüssigen Grenzflächenübergänge realisiert werden können. Die vorliegende Arbeit zeigt, dass es möglich ist, einen thermischen Spritzprozess in einem Gemisch aus Mono-silian und einem Inertgas durchzuführen. Am Beispiel lichtbogengespritzter Kupferschichten wird nach-gewiesen, dass die sich in diesem Umgebungsmedium einstellenden extrem niedrigen Sauerstoffpartialdrücke zu oxidsaumfreien Schichten führen und auch die Schichtporosität deutlich reduziert werden kann.